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格隆匯2月14日丨上海新陽(300236)(300236.SZ)公布，為了進(jìn)一步鞏固在國內(nèi)半導(dǎo)體材料行業(yè)的領(lǐng)先地位，實現(xiàn)我國集成電路關(guān)鍵工藝化學(xué)材料的自主可控，公司擬與上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)管理委員會、上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)發(fā)展有限公司簽訂《投資意向協(xié)議》，變更全資子公司上海芯刻微材料技術(shù)有限責(zé)任公司注冊于上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)，并啟動位于上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)的項目(以下簡稱“項目”)建設(shè)，該項目主要用于開發(fā)集成電路關(guān)鍵工藝材料。經(jīng)初步測算，該項目總投資金額約為5.8億元人民幣，占地約104畝。

項目預(yù)計年產(chǎn)500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠；年產(chǎn)10000噸光刻膠稀釋劑；年產(chǎn)5000噸高選擇比氮化鈦刻蝕液系列產(chǎn)品；年產(chǎn)15000噸干法蝕刻清洗液系列產(chǎn)品。項目擬于2023年取得施工許可證，2025年底前竣工，2026年6月底前投產(chǎn)。

關(guān)鍵詞： 集成電路 上海新陽 工藝化學(xué)